Kupferbasierte Fertigung soll nach Dresden

AMD und Motorola bündeln ihre Kräfte bei der Chipfertigung

24.07.1998

Die Übertragung der Lizenzrechte für die Herstellung von auf Kupferverbindungen basierenden Halbleitern gilt als Kernstück des auf sieben Jahre angelegten Technologieabkommens. Branchenbeobachter gehen davon aus, daß die Advanced Micro Devices Inc., die in der Vergangenheit des öfteren mit Produktionsproblemen zu kämpfen hatte, damit dem Erzrivalen Intel bei der Prozessorfertigung eine Nasenlänge voraus sein könnte.

Andererseits kann auch Motorolas angeschlagene Halbleiterdivision einen Partner gut gebrauchen. Mit Hilfe der von AMD lizenzierten Techniken plant der Hersteller Flash-Memory-Chips, die vor allem in Embedded-Anwendungen eingesetzt werden sollen. Die Kooperationspartner werden dem Abkommen zufolge auch bei der Entwicklung kupferbasierter Schaltkreise zusammenarbeiten.

Kupferverbindungen ersetzen Aluminium

In der Halbleiterindustrie setzt man große Hoffnungen in die Kupfertechnologie, die in wenigen Jahren die heute gebräuchlichen aluminiumbasierten Pendants ersetzen soll. Kupferverbindungen sind einfacher zu kühlen und leiten den Strom besser als Aluminium. Wegen dieser Eigenschaften können die Leiterbahnen dünner als bisher ausgelegt und die Taktraten erhöht werden. Der Fertigungsprozeß kupferbasierter Halbleiter soll darüber hinaus weniger Produktionsstufen erfordern und deshalb kostengünstiger sein.

IBM hatte bereits im Herbst 1997 erklärt, mit Hilfe seiner "CMOS-7S"-Technologie das bisher verwendete Aluminium bei der Produktion von Halbleitern durch Kupfer ersetzt zu haben. Intel dagegen wird nach den vorliegenden Informationen erst nach dem Jahr 2000 mit Kupfer-Fertigungstechniken arbeiten. Gleichwohl teilte der Prozessorgigant zwischenzeitlich mit, nun schneller als bisher vorgesehen auf die 0,18-Mikrometer-Technik umstellen zu wollen.

AMDs nächste Prozessorgeneration "K7", die auf Kupfertechnik basiert, soll bereits im vierten Quartal 1999 marktreif sein und mit 0,18 Mikrometer dünnen Leiterbahnen Taktfrequenzen um 500 Megahertz erreichen. Ab dem Jahr 2000 plant AMD, in der bis dahin umgerüsteten Halbleiterfabrik in Dresden Chips in Kupfertechnik herzustellen. Die Taktfrequenzen könnten dann bei über ein Gigahertz, das bedeutet mehr als 1000 Megahertz, liegen.