OBERKOCHEN (pi) - Carl Zeiss, Oberkochen, hat zusammen mit seiner US-Tochter Carl Zeiss Inc. aus Thornwood, New York, die Lizenzrechte an der "Areal Image Measurement Software" (Aims) der IBM Research Division erworben. Die Software soll zusammen mit dem dafuer entwickelten Zeiss-Mikroskop "MSM 100" fuer die Mikrolithographie vermarktet werden. Das System kann laut Anbieter nach Reparaturen zur Defekterkennung, Entwicklungspruefung und Qualitaetskontrolle eingesetzt werden.