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Motorola entwickelt Flash-Speicher mit Silizium-Nanokristallen

31.03.2003

MÜNCHEN (COMPUTERWOCHE) - Motorola hat den nach eigenen Angaben ersten Speicherbaustein mit einer Kapazität von vier Megabit gezeigt, der auf Silizium-Nanokristallen basiert. Der Chip besteht aus 50 Angstrom großen Kugeln aus Nanokristallen, die zwischen zwei Siliziumoxidschichten eingebettet sind. Die Kugeln sind so gelagert, dass Bewegungen elektrischer Ladungen zwischen verschiedenen Kristallen verhindert werden. Durch die neue Technik lassen sich laut Hersteller Fertigungsgrößen von weniger als 90 Nanometern realisieren. Dies sei bei auf der herkömmlichen Floating-Gate-Technologie basierenden Speichern aufgrund auftretender Ladungsverluste nicht möglich. In der Folge könnten Flash-Speicher kleiner, kostengünstigere und leistungsfähiger ausfallen.

Die vorgestellten Testchips hat Motorola unter Verwendung herkömmlicher in der Halbleiterherstellung verwendeter Geräte auf 200mm-Wafern hergestellt. Zur Züchtung der Kristalle mussten Bedingungen wie Temperatur, Druck und Zeit geändert und Prozesschemikalien neu zusammengestellt werden. Nun gelte es, die Chipgröße zu reduzieren und Technologiespezifikationen festzuschreiben, um 2004 mit der Serienproduktion beginnen zu können.

Auf Flash-Speichern lassen sich Programm-Code und Daten ablegen. Sie können mehrfach neu programmiert oder aktualisiert werden. Die Bausteine kommen unter anderem in Autos, Haushaltsgeräten, Mobiltelefonen und Industriesteuerungen zum Einsatz. (lex)