KARLSRUHE (vwd) - Im Kernforschungszentrum (KfK) wurde ein Verfahren zur automatischen Scharfeinstellung von Mikroskopen entwickelt, mit dem die Genauigkeit und Aussagekraft von Oberflächenanalysen verbessert wird.

Die optische Analyse von Oberflächen spielt in der Werkstoffentwicklung eine wesentliche Rolle. Proben mit einer für statistisch relevante Aussagen ausreichenden Oberflächengröße müssen wegen dem begrenzten Gesichtsfeld des Mikroskops an verschiedenen Stellen untersucht werden. Infolge der Unebenheiten größerer Flächen gelangen dabei auch unscharfe Bilder zur Auswertung, die fehlerhafte oder gar nicht zu interpretierende Ergebnisse liefern.

Mit dem im Institut für Material- und Festkörperforschung des KfK entwickelten Verfahren wird das Mikroskop in jeder neuen Untersuchungsposition mit Hilfe eines Computers automatisch scharf eingestellt. Das Verfahren beruht auf der Tatsache, daß bei der Scharfeinstellung die Helligkeitsunterschiede benachbarter Bildpunkte am größten sind.

Eine Fernsehkamera zeichnet das Mikroskop-Bild auf, das anschließend digitalisiert und von einer PDP 11/10 ausgewertet wird. Mit handelsüblichen Objektiven konnten für die Praxis ausreichende Arbeitsbereiche des Verfahrens von einigen zehn Mikrometer Abweichung aus der Schärfeebene erreicht werden.