Zwischen März und Ende Juni sei der Überschuss von 112 Millionen Euro im Vorjahreszeitraum auf 167 Millionen Euro gestiegen, teilte das Unternehmen am Mittwoch im niederländischen Veldhoven mit. Analysten waren von 136,1 bis 140,6 Millionen Euro ausgegangen.

Auch beim Umsatz schnitt ASML besser ab als vorhergesagt. So stiegen die Erlöse von 763 auf 942 Millionen Euro und lagen damit deutlich über den Schätzungen von 838 bis 854,8 Millionen Euro. Die Zahl der Bestellungen lag bei 93 Maschinen.

Im laufenden dritten Quartal will ASML nach eigenen Angaben 62 Systeme ausliefern. Der Auftragseingang soll über den Auslieferungen liegen. Der Bedarf nach weiterer Produktionskapazität werde in der Halbleiterindustrie in diesem und im nächsten Jahr noch zunehmen. (dpa/tc)