Wie das Unternehmen am Sonntagabend mitteilte, zahlt es 838 Millionen Euro für einen fünfprozentigen Anteil. Weitere 276 Millionen Euro sollen in den nächsten fünf Jahren fließen. Im Gegenzug erhalten die Taiwaner Zugang zu moderner Produktionstechnik.

Mit diesem Schritt folgt TSMC der amerikanischen Intel, die sich ebenfalls mit einer Beteiligung an ASML Produktionstechnik gesichert hatte. Dabei geht es in erster Linie um die Extreme Ultraviolett-Lithografie, mit der künftig leistungsfähigere Computerchips hergestellt werden sollen. ASML liegt nun zu 20 Prozent in den Händen ihrer Kunden. Die Niederländer verhandeln derzeit mit weiteren Kunden, um diesen Wert auf 25 Prozent anzuheben. (dpa/tc)