Neuer Lehrstuhl für Siliziumtechnologie

07.11.1986

ERLANGEN/NÜRNBERG (pi) Erstmals der Öffentlichkeit vorgestellt wurde der bereits im März 1985 gegründete Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente an der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg. Der Schwerpunkt des von Professor Dr.-Ing. Heiner Ryssel geleiteten Instituts liegt auf dem Forschungsgebiet der Entwicklung und Charakterisierung von Prozeßschritten für höchst- und ultrahöchstintegrierte Schaltkreise, der sogenannten VLSI- und ULSI-Technologie.

Das Lehrangebot umfaßt Halbleitertechnologie, Ionenimplantation, Halbeiter- und Bauelementemeßtechnik. Vorgesehen sind Lehrveranstaltungen zur Prozeß- und Bauelementesimulation. Im Rahmen von Forschungsaufträgen kooperiert das Lehrinstitut mit der Industrie, unter anderem bei der Durchführung und Optimierung von Halbleiterprozeßschritten, der Fertigung von Teststrukturen und Spezialbauelementen und auf dem Gebiet analytischer Meßverfahren.