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Forschungsauftrag der US-Regierung

Natsemi zieht ein ziemlich großes Los

09.10.1998
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Forschungsauftrag der US-Regierung

MÜNCHEN (COMPUTERWOCHE) – National Semiconductor (Natsemi) hat von der US-Behörde National Institute of Standards and Technology (NIST), einer Unterabteilung des Handelsministeriums, die führende Rolle in einem mit knapp 19 Millionen Dollar dotierten und auf drei Jahre terminierten Forschungsprojekt zugesprochen bekommen. Ziel des Programms ist die Verbesserung der Produktion von Mikrochips bei gleichzeitiger Senkung der Kosten. Dazu soll eine Technik namens Feed-forward Control (FFC) weiterentwickelt werden. Diese ermöglicht es den für Lithographie und Ätzung zuständigen Komponenten der Chipherstellung, während des laufenden Produktionsprozesses auftretende Fehler sofort zu kompensieren.