Der Gewinn sei 2013 um elf Prozent auf 1,02 Milliarden Euro gesunken, teilte das im EuroStoxx 50 notierte Unternehmen am Mittwoch in Amsterdam mit. Von Bloomberg befragte Experten hatten allerdings mit einem stärkeren Gewinnrückgang gerechnet. Die Ausgaben für Forschung und Entwicklung schnellten im vergangenen Jahr um fast die Hälfte auf 882 Millionen Euro nach oben.
Die Niederländer forcieren derzeit vor allem das neue Geschäft mit sogenannter Extreme Ultraviolet-Lithografie (EUV). In diesem Segment, das für Smartphones und Tablets wichtig ist, hatte sich ASML im Mai mit der Übernahme des US-Unternehmens Cymer verstärkt. Der Umsatz legte im vergangenen Jahr um elf Prozent auf 5,25 Milliarden Euro zu. Damit übertraf der Konzern die eigene Prognose und die Erwartungen der Experten leicht. (dpa/tc)